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一種基于納米壓印技術(shù)制備圖形化藍(lán)寶石襯底的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9752818

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本發(fā)明屬于GaN基LED圖形化襯底,涉及一種基于納米壓印技術(shù)制備大于6英寸圖形化藍(lán)寶石襯底的方法,具體涉及利用規(guī)則有序的多孔陽極氧化鋁當(dāng)掩模制備柔性PDMS壓印模板并通過納米壓印技術(shù)制備6英寸以上圖像化藍(lán)寶石襯底的方法。背景技術(shù) GaN基LED作為新型半導(dǎo)體發(fā)光器件,與傳統(tǒng)的光源相比具有體積小、壽命長、效率高、節(jié)能環(huán)保等優(yōu)點(diǎn),目前已廣泛應(yīng)用于顯示、指示燈、背光燈、固態(tài)照明、交通信號(hào)燈、短程光學(xué)通信和生物傳感器等各個(gè)領(lǐng)域。藍(lán)寶石由于價(jià)格便宜,被廣泛應(yīng)用于Ga...
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