本技術(shù)涉及多晶硅還原爐,具體涉及一種多晶硅還原爐噴嘴。
背景技術(shù):
1、還原爐噴嘴孔徑以及形狀尺寸結(jié)構(gòu)不同,噴射出的物料高度濃度不同,對還原爐硅棒的生長影響重大,其次噴嘴的布置及數(shù)量對還原爐內(nèi)的氣體循環(huán),氣場穩(wěn)定性穩(wěn)定有著重大影響。
2、目前還原爐噴嘴規(guī)格有直孔及螺旋型噴嘴應(yīng)用廣泛,現(xiàn)直孔噴嘴噴射物料高度不足,硅棒頂部生長大頭易靠相熔硅。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型的目的在于:針對目前存在的上述問題,提供了一種多晶硅還原爐噴嘴,將現(xiàn)有的螺旋型噴嘴及直孔型噴嘴進(jìn)行優(yōu)化,使得氣體在通過噴嘴時(shí),流速隨著通道的縮小而增加,從而在噴嘴出口處形成高速的氣流。錐臺型噴嘴能夠提供較大的流量和較高的流速。
2、本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
3、一種多晶硅還原爐噴嘴,包括設(shè)置在頂部的噴嘴和底部的連接部,所述噴嘴的內(nèi)壁呈錐臺型,噴嘴的頂部內(nèi)壁直徑小于噴嘴的底部內(nèi)壁直徑;噴嘴的頂部和底部通過連接通道連接,連接通道的直徑小于噴嘴頂部內(nèi)壁直徑。將現(xiàn)有的螺旋型噴嘴及直孔型噴嘴進(jìn)行優(yōu)化,內(nèi)部具有一個(gè)逐漸收縮的通道,形成一個(gè)錐形出口;使得氣體在通過噴嘴是,流速隨著通道的縮小而增加,從而在噴嘴出口處形成高速的氣流。錐臺型噴嘴能夠提供較大的流量和較高的流速。
4、進(jìn)一步的,所述連接部設(shè)置在噴嘴下方,且連接部與噴嘴固定連接。
5、進(jìn)一步的,所述連接部的外表面設(shè)置有鋸齒狀連接結(jié)構(gòu)。
6、進(jìn)一步的,所述噴嘴為圓柱體結(jié)構(gòu)。
7、進(jìn)一步的,所述噴嘴外表面及噴嘴與連接部連接處均設(shè)置有卡臺。
8、進(jìn)一步的,所述卡臺設(shè)置的位置為噴嘴內(nèi)的頂部及底部外壁。
9、進(jìn)一步的,所述連接部內(nèi)壁直徑的結(jié)構(gòu)及尺寸與噴嘴底部內(nèi)壁直徑的結(jié)構(gòu)及尺寸相同。
10、進(jìn)一步的,所述噴嘴的外壁直徑大于連接部的外壁直徑。
11、進(jìn)一步的,所述噴嘴的高度大于連接部的高度。
12、進(jìn)一步的,所述噴嘴的頂部高度與噴嘴的底部高度相同。
13、與現(xiàn)有的技術(shù)相比本實(shí)用新型的有益效果是:
14、一種多晶硅還原爐噴嘴,將現(xiàn)有的螺旋型噴嘴及直孔型噴嘴進(jìn)行優(yōu)化,內(nèi)部具有一個(gè)逐漸收縮的通道,形成一個(gè)錐形出口;使得氣體在通過噴嘴時(shí),流速隨著通道的縮小而增加,從而在噴嘴出口處形成高速的氣流。錐臺型噴嘴能夠提供較大的流量和較高的流速。
1.一種多晶硅還原爐噴嘴,其特征在于,包括設(shè)置在頂部的噴嘴(1)和底部的連接部(2),所述噴嘴(1)的內(nèi)壁呈錐臺型,噴嘴(1)的頂部內(nèi)壁直徑小于噴嘴(1)的底部內(nèi)壁直徑;噴嘴(1)的頂部和底部通過連接通道(3)連接,連接通道(3)的直徑小于噴嘴頂部內(nèi)壁直徑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅還原爐噴嘴,其特征在于,所述連接部(2)設(shè)置在噴嘴(1)下方,且連接部(2)與噴嘴(1)固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種多晶硅還原爐噴嘴,其特征在于,所述連接部(2)的外表面設(shè)置有鋸齒狀連接結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅還原爐噴嘴,其特征在于,所述噴嘴(1)為圓柱體結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅還原爐噴嘴,其特征在于,所述噴嘴(1)外表面及噴嘴(1)與連接部(2)連接處均設(shè)置有卡臺(4)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種多晶硅還原爐噴嘴,其特征在于,所述卡臺(4)設(shè)置的位置為噴嘴(1)內(nèi)的頂部及底部外壁。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅還原爐噴嘴,其特征在于,所述連接部(2)內(nèi)壁直徑的結(jié)構(gòu)及尺寸與噴嘴(1)底部內(nèi)壁直徑的結(jié)構(gòu)及尺寸相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅還原爐噴嘴,其特征在于,所述噴嘴(1)的外壁直徑大于連接部(2)的外壁直徑。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅還原爐噴嘴,其特征在于,所述噴嘴(1)的高度大于連接部(2)的高度。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅還原爐噴嘴,其特征在于,所述噴嘴(1)的頂部高度與噴嘴(1)的底部高度相同。