一種用于狹縫噴嘴內(nèi)外壁一體式清潔的裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于狹縫噴嘴內(nèi)外壁一體式清潔的裝置，包括：支撐主體；噴嘴內(nèi)壁清潔元件及其夾持部；設(shè)于支撐主體內(nèi)的V型噴嘴外壁清潔部；位于V型噴嘴外壁清潔部正下方以供噴嘴內(nèi)壁清潔元件插入的狹縫通道。清潔狹縫噴嘴時(shí)，先將清潔裝置貼合到狹縫噴嘴上，V型外壁清潔元件貼緊噴嘴外壁，將噴嘴內(nèi)壁清潔元件插入狹縫通道進(jìn)入噴嘴內(nèi)部后，移動(dòng)清潔裝置對(duì)狹縫噴嘴內(nèi)壁及外壁同時(shí)進(jìn)行清潔。本實(shí)用新型將噴嘴內(nèi)壁清潔元件和V型外壁清潔元件合成為一體，可同時(shí)對(duì)狹縫噴嘴的內(nèi)外壁清潔，既省時(shí)且方便。并且避免手部接觸到噴嘴，同時(shí)可以對(duì)噴嘴外壁也進(jìn)行清潔。清潔更方便省時(shí)，不會(huì)造成二次污染，清潔效果更好。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種用于狹縫噴嘴內(nèi)外壁一體式清潔的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種清潔裝置，特別涉及一種用于狹縫噴嘴內(nèi)外壁一體式清潔的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在TFT-1XD領(lǐng)域中，涂布工藝、洗凈工藝、干燥工藝等常用到狹縫式噴嘴，進(jìn)行光刻膠涂覆、噴液洗凈、或者噴氣干燥。實(shí)際生產(chǎn)中，噴嘴經(jīng)常會(huì)被堵塞或污染，需要人工手動(dòng)使用薄塑料或金屬片對(duì)噴嘴內(nèi)壁進(jìn)行清潔。由于狹縫寬度通常是微米級(jí)的，手動(dòng)清潔時(shí)，難以將薄片插入到噴嘴內(nèi)部，并且手部無(wú)法避免接觸到噴嘴，產(chǎn)生二次污染，需要耗費(fèi)大量時(shí)間而清潔效果不佳。設(shè)備自動(dòng)清潔裝置通常只能清潔狹縫噴嘴的外壁，對(duì)于內(nèi)壁無(wú)法清潔到。
[0003]有鑒于此，特提出本實(shí)用新型。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于狹縫噴嘴內(nèi)外壁一體式清潔的裝置，以克服傳統(tǒng)狹縫噴嘴手動(dòng)清潔所存在的清潔效果欠佳，且容易造成二次污染的缺陷。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案: [0006]一種用于狹縫噴嘴內(nèi)外壁一體式清潔的裝置，包括:
[0007]支撐主體；
[0008]噴嘴內(nèi)壁清潔元件及其夾持部；
[0009]設(shè)于支撐主體內(nèi)的V型噴嘴外壁清潔部；
[0010]位于V型噴嘴外壁清潔部正下方以供噴嘴內(nèi)壁清潔元件插入的狹縫通道。
[0011]本實(shí)用新型利用V型噴嘴外壁清潔部和狹縫通道的設(shè)計(jì)，可以便利的將清潔薄片插入狹縫噴嘴內(nèi)部，完成狹縫噴嘴內(nèi)外壁一體式清潔。
[0012]具體而言，本實(shí)用新型所述一體式清潔裝置，所述V型噴嘴外壁清潔部包括相對(duì)設(shè)置并構(gòu)成V型槽的支撐件，設(shè)置于支撐件上至少一對(duì)相對(duì)設(shè)置的V型外壁清潔元件，以及調(diào)節(jié)相對(duì)設(shè)置V型外壁清潔元件間距的螺桿。
[0013]上述調(diào)節(jié)螺桿與支撐體相連，通過(guò)對(duì)支撐體的驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)對(duì)V型外壁清潔元件間距的調(diào)整，以滿(mǎn)足不同型號(hào)狹縫噴嘴的清潔。
[0014]為了獲得更好的清潔效果，本實(shí)用新型所述一體式清潔裝置中，V型外壁清潔元件為2~4組，每組V型外壁清潔元件均相對(duì)設(shè)置并分布在由支撐體構(gòu)成的V型槽內(nèi)。
[0015]作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選實(shí)施方式，所述V型外壁清潔元件為3組，依次為濕潤(rùn)布、清潔塊和干燥布。對(duì)狹縫噴嘴外壁進(jìn)行清潔時(shí)，先后以濕潤(rùn)布、清潔塊和干燥布對(duì)狹縫噴嘴外壁進(jìn)行濕潤(rùn)異物、清潔和擦干處理，可以潤(rùn)濕噴嘴，更易于清潔且不產(chǎn)生particle，并可對(duì)噴嘴外壁進(jìn)行干燥，一次性完成外壁的徹底清潔(傳統(tǒng)手工清潔前后，需要用無(wú)塵布對(duì)噴嘴進(jìn)行擦拭)。具體濕潤(rùn)布、清潔塊和干燥布的概念及其選擇為本領(lǐng)域技術(shù)人員所掌握，如濕潤(rùn)布和干燥布可采用無(wú)塵海綿布，清潔塊可采用耐磨纖維素系樹(shù)脂等，此處不再限定。
[0016]本實(shí)用新型所述的一體式清潔裝置，所述噴嘴內(nèi)壁清潔元件為高分子塑料薄片或金屬薄片。上述高分子塑料薄片或金屬薄片均具備理想的清潔性能，所使用的材料為現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型對(duì)此不作特別限定。噴嘴內(nèi)壁清潔元件的尺寸可依據(jù)待清潔狹縫噴嘴的尺寸來(lái)設(shè)定。
[0017]本實(shí)用新型所述的一體式清潔裝置，噴嘴內(nèi)壁清潔元件是自支撐主體底部的狹縫通道插入，最后深入狹縫噴嘴內(nèi)部通過(guò)移動(dòng)一體式清潔裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)的。為了便于噴嘴內(nèi)壁清潔元件插入，本實(shí)用新型所述狹縫通道的底部設(shè)有倒V型的引導(dǎo)槽，噴嘴內(nèi)壁清潔元件夾持部的形狀與倒V型的引導(dǎo)槽相配合。使用時(shí)，固定在夾持部上的噴嘴內(nèi)壁清潔元件可以很方便從倒V型引導(dǎo)槽處插入狹縫通道。
[0018]本實(shí)用新型所述的一體式清潔裝置，所述噴嘴內(nèi)壁清潔元件的夾持部由兩塊三角固定塊組成，三角固定塊支架可拆卸式夾持固定噴嘴內(nèi)壁清潔元件。方便對(duì)噴嘴內(nèi)壁清潔元件的后續(xù)處理。
[0019]同樣，為了配合不同尺寸狹縫噴嘴的清潔需求，本實(shí)用新型中，所述支撐主體上還設(shè)有調(diào)節(jié)狹縫通道寬度的調(diào)節(jié)螺桿。通過(guò)調(diào)節(jié)狹縫通道的寬度，可以完成對(duì)多種尺寸狹縫噴嘴內(nèi)壁的清潔。
[0020]本實(shí)用新型所述的一體式清潔裝置，所述噴嘴內(nèi)壁清潔元件夾持部通過(guò)固定插銷(xiāo)固定至支撐主體上，以保持整體結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。
[0021]此外，為了方便使用，本實(shí)用新型所述的一體式清潔裝置，優(yōu)選在支撐主體上設(shè)有手持部。
[0022]使用時(shí)，首先通過(guò)調(diào)節(jié)螺桿使相對(duì)設(shè)置的V型外壁清潔元件的距離與需要清潔的噴嘴外壁寬度一致，并且使狹縫通道處于V型外壁清潔元件中間，以保證左右外壁清潔片貼緊噴嘴時(shí)，狹縫通道與噴嘴口正對(duì)。調(diào)節(jié)螺桿使狹縫通道的寬度略小于噴嘴開(kāi)口的寬度，且大于噴嘴內(nèi)壁清潔元件的厚度，以保證噴嘴內(nèi)壁清潔元件可以順暢進(jìn)入待清潔噴嘴內(nèi)部。
[0023]清潔狹縫噴嘴時(shí)，先將清潔裝置貼合到狹縫噴嘴上，各組V型外壁清潔元件貼緊噴嘴外壁，狹縫通道與噴嘴口正對(duì)。將噴嘴內(nèi)壁清潔元件由倒V型引導(dǎo)槽處插入狹縫通道，進(jìn)入噴嘴內(nèi)部，將插銷(xiāo)固定后，移動(dòng)清潔裝置對(duì)狹縫噴嘴內(nèi)壁及外壁同時(shí)進(jìn)行清潔。
[0024]本實(shí)用新型所述一體式清潔裝置將噴嘴內(nèi)壁清潔元件和V型外壁清潔元件合成為一體，可同時(shí)對(duì)狹縫噴嘴的內(nèi)外壁清潔，既省時(shí)且方便。并且避免手部接觸到噴嘴，同時(shí)可以對(duì)噴嘴外壁也進(jìn)行清潔。清潔更方便省時(shí)，不會(huì)造成二次污染，清潔效果更好。
[0025]本實(shí)用新型所述一體式清潔裝置為手持裝置，造價(jià)低，移動(dòng)方便。并可以對(duì)狹縫通道寬度及V型外壁清潔元件的距離進(jìn)行調(diào)整，可以適用尺寸不同的噴嘴，可供多臺(tái)設(shè)備使用，具有較大實(shí)用價(jià)值。
【專(zhuān)利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0026]圖1為本實(shí)用新型一體式清潔裝置的側(cè)視圖；
[0027]圖2為本實(shí)用新型一體式清潔裝置的俯視圖；[0028]圖3為本實(shí)用新型一體式清潔裝置的主視圖；
[0029]圖4為本實(shí)用新型一體式清潔裝置的使用狀態(tài)示意圖；
[0030]其中，I為支撐主體；2為噴嘴內(nèi)壁清潔元件；3為夾持部；4為狹縫通道；5為支撐件；6為V型外壁清潔元件；6-1為濕潤(rùn)布；6-2為清潔塊；6-3為干燥布；7為螺桿；8為引導(dǎo)槽；9為螺桿；10為固定插銷(xiāo)；11為狹縫噴嘴；12為噴嘴內(nèi)壁；13為噴嘴外壁。
【具體實(shí)施方式】
[0031]實(shí)施例1
[0032]如圖1所示的用于狹縫噴嘴內(nèi)外壁一體式清潔的裝置，包括:支撐主體I ;噴嘴內(nèi)壁清潔元件2及其夾持部3 ;設(shè)于支撐主體I內(nèi)的V型噴嘴外壁清潔部；位于V型噴嘴外壁清潔部正下方以供噴嘴內(nèi)壁清潔元件2插入的狹縫通道4。
[0033]本實(shí)用新型利用V型噴嘴外壁清潔部和狹縫通道的設(shè)計(jì)，可以便利的將清潔薄片插入狹縫噴嘴內(nèi)部，完成狹縫噴嘴內(nèi)外壁一體式清潔。
[0034]其中，V型噴嘴外壁清潔部包括相對(duì)設(shè)置并構(gòu)成V型槽的支撐件5，設(shè)置于支撐件5上至少一對(duì)相對(duì)設(shè)置的V型外壁清潔元件6，以及調(diào)節(jié)相對(duì)設(shè)置V型外壁清潔元件6間距的螺桿7。
[0035]為了獲得更好的清潔效果，如圖2所示，本實(shí)施例中，V型外壁清潔元件6為3組，依次為濕潤(rùn)布6-1、清潔塊6-2和干燥布6-3。對(duì)狹縫噴嘴外壁進(jìn)行清潔時(shí)，先后以濕潤(rùn)布6-1、清潔塊6-2和干燥布6-3對(duì)狹縫噴嘴外壁進(jìn)行濕潤(rùn)異物、清潔和擦干處理，可以潤(rùn)濕噴嘴，更易于清潔且不產(chǎn)生particle，并可對(duì)噴嘴外壁進(jìn)行干燥，一次性完成外壁的徹底清潔(傳統(tǒng)手工清潔前后，需要用無(wú)塵布對(duì)噴嘴進(jìn)行擦拭)。濕潤(rùn)布6-1和干燥布6-3采用無(wú)塵海綿布，清潔塊6-2采用耐磨纖維素系樹(shù)脂。
[0036]本實(shí)施例中，噴嘴內(nèi)壁清潔元件為高分子塑料薄片或金屬薄片。其厚度與清潔狹縫噴嘴的尺寸相配合。噴嘴內(nèi)壁清潔元件夾持部3通過(guò)固定插銷(xiāo)10固定至支撐主體上，以保持整體結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。
[0037]此外，本實(shí)施例支撐主體I上還設(shè)有調(diào)節(jié)狹縫通道4寬度的螺桿9。通過(guò)調(diào)節(jié)狹縫通道4的寬度，可以完成對(duì)多種尺寸狹縫噴嘴內(nèi)壁的清潔。
[0038]如圖3和圖4所示，清潔狹縫噴嘴時(shí)，先將清潔裝置貼合到狹縫噴嘴11上，各組V型外壁清潔元件6貼緊噴嘴外壁13，狹縫通道4與噴嘴口正對(duì)。將噴嘴內(nèi)壁清潔元件2由倒V型引導(dǎo)槽8處插入狹縫通道4，進(jìn)入噴嘴內(nèi)部，將固定插銷(xiāo)10固定后，移動(dòng)清潔裝置對(duì)狹縫噴嘴內(nèi)壁12及外壁13同時(shí)進(jìn)行清潔。
[0039]實(shí)施例2
[0040]本實(shí)施例在實(shí)施例1結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，在狹縫通道4的底部設(shè)有倒V型的引導(dǎo)槽8，噴嘴內(nèi)壁清潔元件夾持部3的形狀與倒V型的引導(dǎo)槽8相配合。使用時(shí)，固定在夾持部3上的噴嘴內(nèi)壁清潔元件2可以很方便從倒V型引導(dǎo)槽處8插入狹縫通道4。
[0041]其中，夾持部3由兩塊三角固定塊組成，三角固定塊支架可拆卸式夾持固定噴嘴內(nèi)壁清潔元件2。方便對(duì)噴嘴內(nèi)壁清潔元件2的后續(xù)處理。
[0042]實(shí)施例3
[0043]本實(shí)施例在實(shí)施例2結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，為了方便使用，在支撐主體I上設(shè)有手持部(圖中未標(biāo)示)。
[0044]實(shí)施例4
[0045]與實(shí)施例1相比，區(qū)別點(diǎn)僅在于，本實(shí)施例中，V型外壁清潔元件6為兩組，分別為濕潤(rùn)布6-1及清潔塊6-2。
[0046]實(shí)施例5
[0047]與實(shí)施例1相比，區(qū)別點(diǎn)僅在于，本實(shí)施例中，V型外壁清潔元件6僅為一組濕潤(rùn)布 6-1。
【權(quán)利要求】
1.一種用于狹縫噴嘴內(nèi)外壁一體式清潔的裝置，包括: 支撐主體； 噴嘴內(nèi)壁清潔元件及其夾持部； 設(shè)于支撐主體內(nèi)的V型噴嘴外壁清潔部； 位于V型噴嘴外壁清潔部正下方以供噴嘴內(nèi)壁清潔元件插入的狹縫通道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于:所述V型噴嘴外壁清潔部包括相對(duì)設(shè)置并構(gòu)成V型槽的支撐件，設(shè)置于支撐件上至少一對(duì)相對(duì)設(shè)置的V型外壁清潔元件，以及調(diào)節(jié)相對(duì)設(shè)置V型外壁清潔元件間距的螺桿。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于:所述V型外壁清潔元件為2?4組。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于:所述V型外壁清潔元件為3組，依次為濕潤(rùn)布、清潔塊和干燥布。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于:所述噴嘴內(nèi)壁清潔元件為高分子塑料薄片或金屬薄片。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或5所述的裝置，其特征在于:所述狹縫通道的底部設(shè)有倒V型的引導(dǎo)槽，噴嘴內(nèi)壁清潔元件夾持部的形狀與倒V型的引導(dǎo)槽相配合。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2或5所述的裝置，其特征在于，所述噴嘴內(nèi)壁清潔元件的夾持部由兩塊三角固定塊組成，三角固定塊支架可拆卸式夾持固定噴嘴內(nèi)壁清潔元件。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2或5所述的裝置，其特征在于:所述支撐主體上還設(shè)有調(diào)節(jié)狹縫通道寬度的螺桿。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2或5所述的裝置，其特征在于:所述噴嘴內(nèi)壁清潔元件夾持部通過(guò)固定插銷(xiāo)固定至支撐主體上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2或5所述的裝置，其特征在于，所述支撐主體上設(shè)有手持部。
【文檔編號(hào)】B05B15/02GK203591909SQ201320829060
【公開(kāi)日】2014年5月14日 申請(qǐng)日期:2013年12月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月13日
【發(fā)明者】陳中明, 尹鎮(zhèn)鎬, 孟祥明, 李康, 羅祝義, 吳利峰, 張磊 申請(qǐng)人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司