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一種氣體精確分裝裝置的制造方法

文檔序號:10918884閱讀:772來源:國知局
一種氣體精確分裝裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種氣體精確分裝裝置,包括相互并聯(lián)且均與主管路連通的真空抽氣設備、Ⅰ號容器、Ⅱ號容器、Ⅲ號容器、氣體容器、壓強計和分裝容器,且上述設備及容器與主管路之間均設置有截止閥。本實用新型根據(jù)實際的氣體新材料所需分裝量選擇不同體積的容器并聯(lián),使裝置內(nèi)所需壓強在一個容易控制的范圍;通過真空接口可以對裝置進行真空處理,減少雜質混入;由于分裝過程需要壓強數(shù)據(jù),通過壓強檢測口可以對裝置壓強進行監(jiān)控;體積的精確標定可以降低實際分裝過程中的體積誤差,使分裝量更準確;高真空抽氣設備可以進一步降低分裝過程中的雜質混入量;精度高于0.2%的壓強計可以降低實際分裝過程中的壓強誤差,使分裝量更準確。
【專利說明】
一種氣體精確分裝裝置
技術領域
[0001]本實用新型屬于一種氣體分裝裝置,具體涉及一種氣體精確分裝裝置。
【背景技術】
[0002]目前,國內(nèi)外常見的分裝裝置主要有流量控制裝置和壓強控制裝置兩類。流量控制裝置是指在分裝裝置入口處接入流量控制設備,根據(jù)所需要分裝氣體的質量控制氣體流量和流入時間,達到分裝氣體的目的;壓強控制裝置是指標定裝入新氣體容器的體積,推算出所需氣體的壓強,外部控制容器瓶口壓強,達到分裝氣體的目的。流量控制裝置在氣體分裝過程中,起始和收尾階段流量波動很大,此時流量控制設備流量計算誤差較大,如果所需分裝氣體新材料質量很小,會導致氣體新材料分裝量不夠精確;壓強控制裝置在氣體分裝過程中,一般要求容器瓶口壓強很大,為了保證容器口部壓強,外部所需的氣體新材料很多,氣體新材料分裝量很精確,但是需要有大量的氣體新材料儲備。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型是為了克服現(xiàn)有技術中存在的缺點而提出的,其目的是提供一種氣體精確分裝裝置。
[0004]本實用新型的技術方案是:
[0005]—種氣體精確分裝裝置,包括相互并聯(lián)且依次均與主管路連通的真空抽氣設備、I號容器、π號容器、m號容器、氣體容器和分裝容器,主管路上安裝有壓強計;真空抽氣設備與主管路之間設置有D截止閥;I號容器與主管路之間設置有I號截止閥;Π號容器與主管路之間設置有Π號截止閥;m號容器與主管路之間設置有m號截止閥;氣體容器與主管路之間設置有F截止閥;分裝容器與主管路之間設置有s截止閥;壓強計與主管路之間設置有P截止閥。
[0006]所述I號容器的容積為5L; Π號容器的容積為10L;m號容器的容積為20L。
[0007]本實用新型的有益效果是:
[0008]本實用新型根據(jù)實際的氣體新材料所需分裝量選擇不同體積的容器并聯(lián),使裝置內(nèi)所需壓強在一個容易控制的范圍;通過真空接口可以對裝置進行真空處理,減少雜質混入;由于分裝過程需要壓強數(shù)據(jù),通過壓強檢測口可以對裝置壓強進行監(jiān)控;體積的精確標定可以降低實際分裝過程中的體積誤差,使分裝量更準確;高真空抽氣設備可以進一步降低分裝過程中的雜質混入量;精度高于0.2%的壓強計可以降低實際分裝過程中的壓強誤差,使分裝量更準確。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0010]其中:
[0011]I I號容器2 Π號容器
[0012]3m號容器4氣體容器
[0013]5分裝容器6真空抽氣設備
[0014]7壓強計8主管路
[0015]9D截止閥10P截止閥
[0016]11I號截止閥12Π號截止閥
[0017]13ΙΠ號截止閥14F截止閥
[0018]15S 截止閥。
【具體實施方式】
[0019]下面結合說明書附圖及實施例對本實用新型一種氣體精確分裝裝置進行詳細說明:
[0020]如圖1所示,一種氣體精確分裝裝置,包括相互并聯(lián)且依次均與主管路8連通的真空抽氣設備6、I號容器1、Π號容器2、m號容器3、氣體容器4和分裝容器5,主管路8上安裝有壓強計7;真空抽氣設備6與主管路8之間設置有D截止閥9; I號容器I與主管路8之間設置有I號截止閥11; Π號容器2與主管路8之間設置有Π號截止閥12; ΙΠ號容器3與主管路8之間設置有ΙΠ號截止閥13;氣體容器4與主管路8之間設置有F截止閥14;分裝容器5與主管路8之間設置有S截止閥15;壓強計7與主管路8之間設置有P截止閥10。
[0021]所述I號容器I的容積為5L; Π號容器2的容積為10L;m號容器3的容積為20L。
[0022]本實用新型的使用方法:
[0023 ] 一種氣體精確分裝方法,包括以下步驟:
[0024](i )打開所有截止閥門,使用真空抽氣設備6對整個裝置進行高真空處理;
[0025]( ? )關閉D截止閥9和根據(jù)所需氣體新材料質量推算的不被使用的容器的截止閥門;
[0026](m)使用氣體新材料盛裝容器4釋放氣體使高精度壓強計7的壓強略小于理論值;
[0027]( iv )穩(wěn)定一段時間,消除氣體膨脹所代入的溫差,使裝置整體溫度于室溫平衡;
[0028]( V )使用氣體新材料盛裝容器4微量增加氣體,使高精度壓強計7的壓強等于理論值;
[0029](vi )將裝置內(nèi)所有氣體新材料通過低溫方式收集到所需分裝的新材料分裝容器5內(nèi);
[0030](vii)待高精度壓強計7的壓強低于一定數(shù)值后,認為所有氣體新材料都收集到所需分裝的新材料分裝容器5中,關閉所有截止閥門,結束該次分裝工作,實際稱重計算重量,實際質量誤差應該在10毫克以內(nèi)。
[0031]以分裝124Xe豐度99.5%以上的氙氣2克為例,具體步驟如下:
[0032](i)打開所有截止閥門,使用真空抽氣設備6對整個裝置進行高真空處理;
[0033]( ? )根據(jù)一個大氣壓下16°C時產(chǎn)品密度為5.18克/升推算,只需要使用一個5升容器即可完成分裝工作(其中,室溫18,連接管道和5升容器標定的實際體積分別為1.145升和5.323升,所需壓強為68.05百帕)。因此關閉D截止閥9、Π號容器2和ΙΠ號容器3對應的I號截止閥11和Π號截止閥12;
[0034]( m )使用氣體新材料盛裝容器4釋放氣體使高精度壓強計7的壓強略小于68.05百帕(實際67.34百帕);
[0035](iv )穩(wěn)定半小時,消除氣體膨脹所代入的溫差,使裝置整體溫度于室溫平衡,儀表壓強變?yōu)?7.76百帕;
[0036]( V)使用氣體新材料盛裝容器4微量釋放氙氣,使高精度壓強計7等于68.20百帕(實際控制不能精確到68.05百帕,近似即可);
[0037](vi)將裝置內(nèi)所有氙氣通過液氮冷凍方式收集到所需分裝的新材料分裝容器5內(nèi)
[0038](vii)待高精度壓強計7的壓強低于0.02百帕后,認為所有氙氣都收集到所需分裝的新材料分裝容器5中,關閉所有截止閥門,結束該次分裝工作,實際稱重計算重量,實際稱重結果為2.004克,誤差4毫克。
【主權項】
1.一種氣體精確分裝裝置,其特征在于:包括相互并聯(lián)且依次均與主管路(8)連通的真空抽氣設備(6)、I號容器(I)、Π號容器(2)、ΙΠ號容器(3)、氣體容器(4)和分裝容器(5),主管路(8)上安裝有壓強計(7);真空抽氣設備(6)與主管路(8)之間設置有D截止閥(9); I號容器(I)與主管路(8)之間設置有I號截止閥(11); Π號容器(2)與主管路(8)之間設置有Π號截止閥(12);ΙΠ號容器(3)與主管路(8)之間設置有ΙΠ號截止閥(13);氣體容器(4)與主管路(8)之間設置有F截止閥(14);分裝容器(5)與主管路(8)之間設置有S截止閥(15);壓強計(7)與主管路(8)之間設置有P截止閥(10)。2.根據(jù)權利要求1所述的一種氣體精確分裝裝置,其特征在于:所述I號容器(I)的容積為5L; Π號容器(2 )的容積為1L; ΙΠ號容器(3 )的容積為20L。
【文檔編號】F17C5/06GK205606168SQ201620282523
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年4月7日
【發(fā)明人】叢藝坤, 謝全新, 孫志杰, 牟宏, 耿冰霜, 于濱, 李強, 楊坤, 蘇亮, 張宏志, 鐘軍
【申請人】核工業(yè)理化工程研究院
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