專利名稱：一種硅微諧振加速度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于加速度傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種娃微諧振加速度傳感器。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的硅微諧振加速度傳感器具有靈敏度較低的不足。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種硅微諧振加速度傳感器，具有溫度穩(wěn)定性好、高靈敏高的優(yōu)點(diǎn)。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采取的技術(shù)方案為:一種硅微諧振加速度傳感器，包括質(zhì)量塊3，質(zhì)量塊3四個(gè)邊的中心處設(shè)置有諧振梁I和支撐梁2，諧振梁I設(shè)在支撐梁2上，諧振梁1、支撐梁2、質(zhì)量塊3是以單晶硅片為基板4的經(jīng)微加工成型的一個(gè)整體。本發(fā)明具有靈敏聞的優(yōu)點(diǎn)。


附圖為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)旅方式以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做詳細(xì)描述。參照附圖，一種硅微諧振加速度傳感器，包括質(zhì)量塊3，質(zhì)量塊3四個(gè)邊的中心處設(shè)置有諧振梁I和支撐梁2，諧振梁I設(shè)在支撐梁2上，諧振梁1、支撐梁2、質(zhì)量塊3是以單晶硅片為基板4的經(jīng)微加工成型的一個(gè)整體。本發(fā)明的工作原理是:在外力作用下，質(zhì)量塊3在相應(yīng)方向產(chǎn)生位移，帶動(dòng)兩個(gè)對(duì)稱的諧振梁I拉伸或收縮，兩個(gè)諧振梁I內(nèi)應(yīng)力分別為拉應(yīng)力和壓應(yīng)力，從而引起該方向?qū)ΨQ的諧振梁固有頻率變化，通過(guò)檢測(cè)該變化來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的測(cè)量。
權(quán)利要求
1.一種硅微諧振加速度傳感器，包括質(zhì)量塊(3)，其特征在于:質(zhì)量塊(3)四個(gè)邊的中心處設(shè)置有諧振梁(I)和支撐梁(2)，諧振梁(I)設(shè)在支撐梁(2)上，諧振梁(I)、支撐梁(2)、質(zhì)量塊(3)是以單晶硅片為基板(4)的經(jīng)微加工成型的一個(gè)整體。
全文摘要
一種硅微諧振加速度傳感器，包括質(zhì)量塊，質(zhì)量塊四個(gè)邊的中心處設(shè)置有諧振梁和支撐梁，諧振梁設(shè)在支撐梁上，諧振梁、支撐梁、質(zhì)量塊是以單晶硅片為基板的經(jīng)微加工成型的一個(gè)整體，在外力作用下，質(zhì)量塊在相應(yīng)方向產(chǎn)生位移，帶動(dòng)兩個(gè)對(duì)稱的諧振梁拉伸或收縮，兩個(gè)諧振梁內(nèi)應(yīng)力分別為拉應(yīng)力和壓應(yīng)力，從而引起該方向?qū)ΨQ的諧振梁固有頻率變化，通過(guò)檢測(cè)該變化來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的測(cè)量，本發(fā)明具有靈敏高的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01P15/097GK103163327SQ201110427508
公開(kāi)日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2011年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月15日
發(fā)明者樊曉紅 申請(qǐng)人:西安民生電熱技術(shù)工程有限責(zé)任公司