專利名稱：石英舟基板支撐桿裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于石英舟裝備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種石英舟基板支撐桿裝置。
背景技術(shù)：
目前退火爐溫度和潔凈度較高，要求退火處理中使用的存放基板的石英舟能夠耐高溫且產(chǎn)生較少的微粒，這樣與基板支撐桿不能使用耐磨而不耐高溫的有機(jī)材料，只能使用耐高溫又耐磨的無機(jī)材料?，F(xiàn)在一般退火爐中的石英舟基板支撐桿采用圓柱體或長方體不銹鋼材，但是采用圓柱體支撐桿，基板在運(yùn)動(dòng)中易產(chǎn)生滑動(dòng)增大基板擦傷幾率，而采用長方體支撐桿，基板在裝卸過程中易產(chǎn)生擦傷。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種石英舟基板支撐桿裝置，通過在石英舟內(nèi)部安裝橫截面為圓角矩形的基板支撐桿，以及采用石英材料，這樣增大了基板支撐桿與基板接觸面，減少基板滑動(dòng)和裝卸時(shí)造成擦傷的幾率，由此避免了采用圓柱體支撐桿的基板在運(yùn)動(dòng)中易產(chǎn)生滑動(dòng)增大基板擦傷幾率的缺陷，以及還能避免采用長方體支撐桿的基板在裝卸過程中易產(chǎn)生擦傷的缺陷。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是一種石英舟基板支撐桿裝置，包括在石英舟1內(nèi)部豎直方向兩側(cè)面自下而上依次安裝有兩個(gè)以上水平架構(gòu)的基板支撐桿2，該基板支撐桿2是橫截面為圓角矩形的柱狀桿。所述的基板支撐桿2的材料為石英材料。通過在石英舟1內(nèi)部安裝橫截面為圓角矩形的基板支撐桿2，以及采用石英材料， 這樣增大了基板支撐桿2與基板接觸面，減少基板滑動(dòng)和裝卸時(shí)造成擦傷的幾率，由此避免了采用圓柱體支撐桿的基板在運(yùn)動(dòng)中易產(chǎn)生滑動(dòng)增大基板擦傷幾率的缺陷，以及還能避免采用長方體支撐桿的基板在裝卸過程中易產(chǎn)生擦傷的缺陷。


圖1為帶有本發(fā)明的石英舟基板支撐桿的石英舟的透視圖。圖2為本發(fā)明的石英舟基板支撐桿的橫截面示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作更詳細(xì)的說明。如附圖所示，石英舟基板支撐桿裝置，包括在石英舟1內(nèi)部豎直方向兩側(cè)面自下而上依次安裝有兩個(gè)以上水平架構(gòu)的基板支撐桿2，該基板支撐桿2是橫截面為圓角矩形的柱狀桿。所述的基板支撐桿2的材料為石英材料。本發(fā)明的工作原理為先在石英舟1內(nèi)部豎直方向兩側(cè)面的基板支撐桿2上水平放置上待退火處理的基板，然后放入退火爐中進(jìn)行退火處理，退火處理完畢后再行取出在石英舟1內(nèi)的基板。 通過在石英舟1內(nèi)部安裝橫截面為圓角矩形的基板支撐桿2，以及采用石英材料， 這樣增大了基板支撐桿2與基板接觸面，減少基板滑動(dòng)和裝卸時(shí)造成擦傷的幾率，由此避免了采用圓柱體支撐桿的基板在運(yùn)動(dòng)中易產(chǎn)生滑動(dòng)增大基板擦傷幾率的缺陷，以及還能避免采用長方體支撐桿的基板在裝卸過程中易產(chǎn)生擦傷的缺陷。
權(quán)利要求
1.一種石英舟基板支撐桿裝置，包括在石英舟(1)內(nèi)部豎直方向兩側(cè)面自下而上依次安裝有兩個(gè)以上水平架構(gòu)的基板支撐桿O)，其特征在于該基板支撐桿( 是橫截面為圓角矩形的柱狀桿。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的英舟基板支撐桿裝置，其特征在于所述的基板支撐桿(2) 的材料為石英材料。
全文摘要
一種石英舟基板支撐桿裝置，通過在石英舟內(nèi)部安裝橫截面為圓角矩形的基板支撐桿，以及采用石英材料，這樣增大了基板支撐桿與基板接觸面，減少基板滑動(dòng)和裝卸時(shí)造成擦傷的幾率，由此避免了采用圓柱體支撐桿的基板在運(yùn)動(dòng)中易產(chǎn)生滑動(dòng)增大基板擦傷幾率的缺陷，以及還能避免采用長方體支撐桿的基板在裝卸過程中易產(chǎn)生擦傷的缺陷。
文檔編號(hào)H01L21/687GK102280401SQ20111017969
公開日2011年12月14日 申請(qǐng)日期2011年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月29日
發(fā)明者黃興成 申請(qǐng)人:彩虹(佛山)平板顯示有限公司