專利名稱：一種易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及夾持平面盤狀物的裝置，具體涉及一種易清洗的薄壁盤狀物夾持
>J-U ρ α裝直。
背景技術：
薄壁盤狀物卡盤在領域內應用最多的是銷夾盤、伯努利吸盤等。上述的薄壁 盤狀物包括多種類型的盤狀物，例如半導體晶片、光盤或是平板顯示器。在公開號為ZL200910087488. 5的專利中公開了一種利用離心力將薄壁盤狀物卡緊，利用磁鐵的排斥力來打開晶片。在申請?zhí)枮閁S5513668和US4903717的美國專利中公開了一種利用伯努利原理將薄壁盤狀物固定的卡盤。利用伯努利原理在卡盤和薄壁盤狀物之間形成一層氣墊。利用氣墊來保持薄壁盤狀物。通過分布在薄壁盤狀物圓周的夾持元件來實現(xiàn)徑向定位。但是這些專利都有一個無法克服的缺點無法對夾持元件與薄壁盤狀物接觸的地方進行清洗，從而影響薄壁盤狀物整體清洗質量。

實用新型內容(一 )要解決的技術問題本實用新型要解決的技術問題是提供一種夾持薄壁盤狀物的裝置，可以對夾持元件與薄壁盤狀物接觸的地方進行清洗，從而提高薄壁盤狀物的整體清洗質量。( 二 )技術方案為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，包括旋轉軸及可在所述旋轉軸帶動下旋轉的卡盤主體，其特征在于，所述卡盤主體的邊緣設置有至少兩組夾持元件，所述每組夾持元件包括至少3個夾持元件,所述夾持元件可以以其與所述卡盤主體的連接點為旋轉中心進行擺動，用于卡緊所述薄壁盤狀物；所述夾持元件的底端與所述卡盤主體連接有徑向的壓縮彈簧，所述壓縮彈簧用于為所述夾持元件提供卡緊力；所述夾持元件與所述卡盤主體之間設置有驅動部件，用于通過推動或吸引使所述夾持元件擺動；清洗時所述同組夾持元件的動作一致，所述兩組夾持元件交替打開和卡緊。其中，所述驅動元件為氣缸或電磁鐵,當驅動部件為電磁鐵時,所述夾持元件設置有相應的鐵磁性材料。其中，所述夾持元件為兩組，其上均設置有磁鐵，所述同組夾持元件的磁鐵極性一致，兩組夾持元件之間的磁鐵極性相反；所述卡盤主體的內圍設置有多個電磁鐵，所述電磁鐵的個數(shù)大于等于所述夾持元件的個數(shù)，所述電磁鐵的極性及時間均為可控。其中，所述不同組的夾持元件之間為間隔、均勻分布。其中，所述每組夾持元件的個數(shù)均為3個，所述電磁鐵的個數(shù)為18個，其中9個一組，并間隔、均勻分布，同組電磁鐵通入同向電流。其中，所述卡盤主體與所述夾持元件對應的位置上設置有限位結構，用于限制所述夾持元件相對于所述卡盤主體的擺動。其中，所述夾持元件的頂端設置有凹槽結構，用于夾緊所述薄壁盤狀物。(三)有益效果上述技術方案所提供的易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，包括旋轉軸及可在所述旋轉軸帶動下旋轉的卡盤主體，其特征在于，所述卡盤主體的邊緣設置有至少兩組夾持元件，所述每組夾持元件包括至少3個夾持元件,所述夾持元件可以以其與所述卡盤主體的連接點為旋轉中心進行擺動，用于卡緊所述薄壁盤狀物；所述夾持元件的底端與所述卡盤主體連接有徑向的壓縮彈簧，所述壓縮彈簧用于為所述夾持元件提供卡緊力；所述夾持元件與所述卡盤主體之間設置有驅動部件，用于通過推動或吸引使所述夾持元件擺動；清洗時所述同組夾持元件的動作一致，所述兩組夾持元件交替打開和卡緊。本實用新型利用彈簧彈力的反作用力以及在旋轉時作用在夾持元件上的離心力把薄壁盤狀物卡緊，從而實現(xiàn)薄壁盤狀物隨同卡盤的高速旋轉。
圖I是本實用新型實施例的易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置的結構示意圖；圖2是本實用新型實施例的易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置的沿徑向的剖視圖；圖3是本實用新型實施例的盤狀卡盤的俯視圖；圖4是本實用新型實施例的薄壁盤狀物卡盤卡緊狀態(tài)下的局部結構示意圖；圖5為薄壁盤狀物卡盤松弛狀態(tài)下的局部結構示意圖；圖6為薄壁盤狀物卡盤結構部分示意圖；其中，I :第一組夾持元件；1':第二組夾持元件；2 :清洗薄壁盤狀物地面裝置；3 卡盤主體；4 電磁鐵；4'電磁鐵；4"電磁鐵；5 :壓縮彈簧；7 :磁鐵；8 :化學藥液噴灑單元；9 :薄壁盤狀物夾持裝置；G :旋轉中心；S1 :卡盤主體限位面；S2 :夾持元件限位面。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。結合圖I所示，本實施例提供了一種易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置9，其包括旋轉軸及可在旋轉軸帶動下旋轉的卡盤主體3，卡盤主體3優(yōu)選為圓盤狀，卡盤主體3的邊緣設置有至少兩組夾持元件，每組夾持元件包括至少3個夾持元件,夾持元件可以以其與卡盤主體3的連接點為旋轉中心G進行擺動，用于卡緊薄壁盤狀物；夾持元件的底端與卡盤主體3連接有徑向的壓縮彈簧5，壓縮彈簧5用于為夾持元件提供卡緊力，保證在低速運轉離心力不夠狀態(tài)下，靠彈簧壓縮力的反作用力保證夾持元件卡緊薄壁盤狀物，避免薄壁盤狀物相對卡盤主體3的相對轉動，造成薄壁盤狀物背面的劃傷；夾持元件與卡盤主體3之間設置有驅動部件，用于通過推動或吸弓I使夾持元件擺動；清洗時同組夾持元件的動作一致，兩組夾持元件交替打開和卡緊。不同組的夾持元件之間為間隔、均勻分布。本易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置9適應廣泛，其中夾持的薄壁盤狀物可以為例如晶片、光盤或是平板顯示器等，在生產工藝中均可試用本薄壁盤狀物夾持裝置9進行操作。驅動元件為氣缸或電磁鐵，當驅動部件為電磁鐵時,夾持元件設置有相應的鐵磁性材料。本實施例優(yōu)選驅動部件為電磁鐵，具體的夾持元件為兩組，其上均設置有磁鐵7，同組夾持元件的磁鐵極性一致，兩組夾持元件之間的磁鐵極性相反；卡盤主體3的內圍設置有多個電磁鐵，電磁鐵的個數(shù)大于等于夾持元件的個數(shù)，電磁鐵的極性及時間均為可控。卡盤主體3與夾持元件對應的位置上設置有限位結構，用于限制夾持元件相對于卡盤主體3的擺動。保證每次夾持薄壁盤狀物具有相同的夾緊力，防止夾緊力過小造成對薄壁盤狀物的夾持不緊，或者夾緊力過大造成對薄壁盤狀物的破壞。夾持元件的頂端設置有凹槽結構，用于夾緊薄壁盤狀物。使用本實用新型的薄壁盤狀物夾持裝置的夾持薄壁盤狀物時，其工藝過程如下參見圖I，夾持元件在卡盤主體3上分布有兩組，每組3個夾持元件，第一組夾持元件I內置磁鐵7,磁鐵N極朝外,第二組夾持元件I'內置磁鐵7,磁鐵S極朝外。夾持元件可以沿其旋轉中心G擺動。·在工藝過程中，電磁鐵不通電，卡盤主體2帶動薄壁盤狀物旋轉?；瘜W藥液從化學藥液噴灑單元8中噴到薄壁盤狀物上表面，由于薄壁盤狀物的旋轉，能夠使化學藥液比較均勻的覆蓋薄壁盤狀物上表面，同時清洗薄壁盤狀物下表面裝置進行噴灑藥液程序清洗薄壁盤狀物下表面，如圖中的清洗薄壁盤狀物地面裝置2。由于夾持元件與薄壁盤狀物接觸的地方存在藥液的表面張力造成的阻力導致該處化學藥液在甩干的過程中不能夠完全甩干，以致化學藥液的水分在空氣蒸發(fā)后在夾持元件與薄壁盤狀物接觸的地方留下了水印，該水印在后續(xù)的工藝，如分子外延，會產生工藝不能接受的Haze。在第一階段中，卡盤主體3以一定速度旋轉，對電磁鐵4'和4"通電使電磁鐵極性N極朝內，就會對第一組夾持元件I的內置磁鐵7產生排斥力同時對第二組夾持元件I,的內置磁鐵產生吸引力，從而使第一組夾持元件I打開。沿其旋轉中心G逆時針擺動一定角度，使夾持機構SI面與卡盤整體機構的S2面接觸，第一組夾持元件I完全打開。這時，殘存在薄壁盤狀物上與夾持元件接觸的地方的化學藥液，由于夾持元件的打開能夠在離心力的作用下迅速甩干。而此時第二組夾持元件P由于內置磁鐵的極性與第一組相反而不會被打開。在第二階段中，卡盤主體3以一定速度旋轉，對電磁鐵V和4"反向通電使電磁鐵極性S極朝內，電磁鐵就會對第二組夾持元件I'的內置磁鐵7產生排斥力同時對第一組夾持元件I內置磁鐵產生吸引力，從而使第二組夾持元件打開，沿其旋轉中心G逆時針擺動一定角度，使夾持機構SI面與卡盤整體調整機構的S2面接觸，第二組夾持元件完全打開。這樣殘存在薄壁盤狀物上與夾持元件接觸的地方的化學藥液由于夾持元件的打開能夠在離心力作用下迅速甩干。而此時第一組夾持元件由于內置磁鐵的磁性與第二組相反而不會被打開。為了能實現(xiàn)薄壁盤狀物高速旋轉情況下，夾持元件能順利交替完全打開，電磁鐵分布如下內部電磁鐵沿著圓周均勻分布18個。每9個為一組，而且間隔分布。這樣可以在薄壁盤狀物旋轉速度不同情況下通過調解電磁鐵通電時間，來實現(xiàn)夾持元件在較高轉速情況下仍然可以順利交替打開進而清洗夾持元件部位。在薄壁盤狀物轉速較低的時候兩組電磁鐵同向通電，同時變化通電電流方向時間較長，隨著旋轉速度的增大可以最后只給一組電磁鐵通電，而另一組不需通電。此時間隔2 3s改變兩組電磁鐵的通電順序，來確保兩組夾持元件順利交替打開，以達到清洗薄壁盤狀物的夾持部位。[0036]這樣，在第一階段的旋轉過程中，薄壁盤狀物與第一組夾持元件I脫離了接觸，在接觸處殘存的化學藥液在離心力作用下能夠被甩干。在第二階段的旋轉過程中，薄壁盤狀物與第二組夾持元件P脫離了接觸，在接觸處殘存的化學藥液在離心力作用下能夠被甩干。這樣，薄壁盤狀物與夾持元件接觸的地方殘存的化學藥液完全被甩干，使薄壁盤狀物表面的完全被清洗，從而提高了清洗質量。在工藝完成后，薄壁盤狀物夾持裝置9停在圖3所示位置使夾持元件正對電磁鐵
4。對正對夾持元件I'的電磁鐵4'通電,使電磁鐵4'的極性S極朝內，對夾持元件I的電磁鐵4"通電，使電磁鐵4"的極性N極朝內。這樣電磁鐵4'和4"分別對夾持元件的內置磁鐵產生排斥力，使夾持元件繞其旋轉中心G向外擺動，夾持元件打開從而為機械手取換薄壁盤狀物提供了可能性。本實用新型實施例提供的易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置9，具體的工作原理為對薄壁盤狀物清洗時，薄壁盤狀物的夾持元件交替打開、卡緊，從而對薄壁盤狀物的夾持部位清洗。通過改變電磁鐵的極性實現(xiàn)對具有鐵磁性的夾持元件夾持動作的控制。對薄壁盤狀物清洗完畢后，通過電磁鐵與夾持元件的鐵磁性同極相斥將夾持元件打開，然后通過機械手將薄壁盤狀物從卡盤主體3上取走，并將另一片薄壁盤狀物放到卡盤主體3上。由以上實施例可以看出，本實用新型實施例提供了一種易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，該裝置由可旋轉的卡盤主體3及其邊緣設置的至少兩組夾持元件組成，夾持元件可以以其與卡盤主體3的連接點為旋轉中心進行擺動，其底端與卡盤主體連接有徑向的壓縮彈簧5 ;清洗時同組夾持元件的動作一致，兩組夾持元件交替打開和卡緊。通過采用同組夾持元件安裝對外同極性磁鐵，不同組夾持元件安裝磁極相反磁鐵；卡盤主體上均勻間隔設兩組電磁鐵。清洗初期兩組電磁鐵不通電，兩組夾持裝置處于壓縮彈簧彈力作用下的夾緊狀態(tài)，清洗時通過改變電磁鐵中電流方向來使夾持元件交替打開。本實用新型可以對夾持元件與薄壁盤狀物接觸的地方進行清洗，從而提高薄壁盤狀物的整體清洗質量。以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應視為本實用新型的保護范圍。
權利要求1.一種易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，包括旋轉軸及可在所述旋轉軸帶動下旋轉的卡盤主體，其特征在干，所述卡盤主體的邊緣設置有至少兩組夾持元件，所述每組夾持元件包括至少3個夾持元件,所述夾持元件可以以其與所述卡盤主體的連接點為旋轉中心進行擺動，用于卡緊所述薄壁盤狀物；所述夾持元件的底端與所述卡盤主體連接有徑向的壓縮彈簧，所述壓縮彈簧用于為所述夾持元件提供卡緊カ；所述夾持元件與所述卡盤主體之間設置有驅動部件，用于通過推動或吸引使所述夾持元件擺動；清洗時所述同組夾持元件的動作一致,所述兩組夾持元件交替打開和卡緊。
2.如權利要求I所述的易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，其特征在于，所述驅動部件為氣缸或電磁鉄，當驅動部件為電磁鐵時，所述夾持元件設置有相應的鐵磁性材料。
3.如權利要求2所述的易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，其特征在干，所述夾持元件為兩組，其上均設置有磁鐵，所述同組夾持元件的磁鐵極性一致，兩組夾持元件之間的磁鐵極 性相反；所述卡盤主體的內圍設置有多個電磁鐵，所述電磁鐵的個數(shù)大于等于所述夾持元件的個數(shù)，所述電磁鐵的極性及時間均為可控。
4.如權利要求3所述的易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，其特征在于，所述不同組的夾持元件之間為間隔、均勻分布。
5.如權利要求4所述的易清洗的盤狀夾持裝置，其特征在干，所述每組夾持元件的個數(shù)均為3個，所述電磁鐵的個數(shù)為18個，其中9個一組，并間隔、均勻分布，同組電磁鐵通入同向電流。
6.如權利要求I所述的易清洗的盤狀夾持裝置，其特征在于，所述卡盤主體與所述夾持元件對應的位置上設置有限位結構，用于限制所述夾持元件相對于所述卡盤主體的擺動。
7.如權利要求I所述的易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，其特征在于，所述夾持元件的頂端設置有凹槽結構，用于夾緊所述薄壁盤狀物。
專利摘要本實用新型公開了一種易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，該裝置由可旋轉的卡盤主體及其邊緣設置的至少兩組夾持元件組成，夾持元件可以以其與卡盤主體的連接點為旋轉中心進行擺動，其底端與卡盤主體連接有徑向的壓縮彈簧；清洗時同組夾持元件的動作一致，兩組夾持元件交替打開和卡緊。通過采用同組夾持元件安裝對外同極性磁鐵，不同組夾持元件安裝磁極相反磁鐵；卡盤主體上均勻間隔設兩組電磁鐵。清洗初期兩組電磁鐵不通電，兩組夾持裝置處于壓縮彈簧彈力作用下的夾緊狀態(tài)，清洗時通過改變電磁鐵中電流方向來使夾持元件交替打開。本實用新型可以對夾持元件與薄壁盤狀物接觸的地方進行清洗，從而提高薄壁盤狀物的整體清洗質量。
文檔編號H01L21/683GK202616215SQ20122006368
公開日2012年12月19日 申請日期2012年2月23日 優(yōu)先權日2012年2月23日
發(fā)明者吳儀, 王浩, 李偉, 王銳廷, 張豹 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司