技術(shù)編號(hào)：12065874
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種硅納米線(xiàn)的制備方法，具體涉及一種利用二氧化錫催化生長(zhǎng)Si納米線(xiàn)的方法。背景技術(shù)納米線(xiàn)是指作為各種半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)物之一，具有納米級(jí)尺寸的線(xiàn)結(jié)構(gòu)體。根據(jù)不同的生長(zhǎng)機(jī)理，制備硅納米線(xiàn)的方法主要分為以下幾種：(1)金屬催化氣-液-固(VLS)生長(zhǎng)硅納米線(xiàn)在硅源中加入Fe、Ni、Au、Ag等金屬催化劑，依據(jù)VLS生長(zhǎng)原理采用激光燒蝕、熱蒸發(fā)法、化學(xué)氣相沉積法制備出大量硅納米線(xiàn)。(2)氧化物輔助生長(zhǎng)硅納米線(xiàn)，但是在以金屬或金屬氧化物為催化劑制備硅納米線(xiàn)的過(guò)程中，發(fā)現(xiàn)并不是每一根硅納米線(xiàn)的頂端都...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。