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氣體純度儀氣路控制模塊的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10406561

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SF6氣體以其良好的絕緣性能和滅弧性能,被廣泛應(yīng)用于電器工業(yè)。因SF6氣體的絕緣特性受雜質(zhì)影響很大,需要經(jīng)常測量氣體的純度,導(dǎo)致對SF6氣體純度分析儀的大量需求。由于測量SF6氣體純度時要求通入的氣體保持穩(wěn)定的流量,為防止氣體流量的波動導(dǎo)致測量結(jié)果產(chǎn)生誤差,需要一種控制及測量氣體流量的模塊串聯(lián)在測量管路中,同時還應(yīng)能測量氣路及氣源壓力。發(fā)明內(nèi)容1、發(fā)明目的本實用新型的目的是為了設(shè)計一種結(jié)構(gòu)簡單,便于安裝的氣路控制模塊,能夠穩(wěn)定的控制和測量氣體流量,并能夠測...
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