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一種光電?壓電?靜電驅(qū)動(dòng)的微鏡微調(diào)節(jié)裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10697302

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微鏡被廣泛應(yīng)用于光學(xué)儀器、光存儲(chǔ)器、投影儀和掃描儀等設(shè)備中。近年來,通過對(duì)微鏡配備不同功能的驅(qū)動(dòng)裝置,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)入射光強(qiáng)度和相位的調(diào)制以及光路的選通,使得微鏡具有光開關(guān)、自適應(yīng)光學(xué)校正等功能。傳統(tǒng)的微鏡調(diào)節(jié)裝置采用精密絲桿副及滾動(dòng)導(dǎo)軌、精密螺旋楔塊機(jī)構(gòu)、蝸輪-蝸桿機(jī)構(gòu)、齒輪-杠桿式機(jī)構(gòu)等機(jī)械傳動(dòng)式驅(qū)動(dòng),由于機(jī)械摩擦、間隙、爬行等原因,很難一次性定位成功,往往需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)。對(duì)于壓電驅(qū)動(dòng)、電磁驅(qū)動(dòng)、電熱驅(qū)動(dòng)和靜電驅(qū)動(dòng)的微鏡微調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),需要導(dǎo)線連接,易受到電磁...
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