技術(shù)編號：11040359
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及直拉硅單晶爐設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種外接投料裝置。背景技術(shù)單晶硅直拉法生長過程中，多晶硅原材料放入石英坩堝中進(jìn)行熔料、拉晶。單晶爐拉晶完成后，單晶爐不能與空氣接觸，不然會造成單晶爐碎裂而無法使用，準(zhǔn)備新一爐的生產(chǎn)需要做很多繁雜的前期工作，包括停爐冷卻、清爐、卸料、抽真空和化料等工序，這些前期工作浪費(fèi)了大量的時(shí)間和能耗。單晶爐在一次硅單晶拉制完成后，可以使用外部連接投料裝置，繼續(xù)投入多晶硅片，以便拉制多根晶棒。通常的外部連接投料裝置體積比較大，安裝比較費(fèi)時(shí)費(fèi)力，不能有效的反復(fù)轉(zhuǎn)移...
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