技術(shù)編號：11101588
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。超高溫光纖F-P溫度壓力復(fù)合傳感器與系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及光纖傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體指超高溫光纖F-P溫度壓力復(fù)合傳感器與系統(tǒng)。背景技術(shù)微機電系統(tǒng)(MEMS)，也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。MEMS是一個獨立的智能系統(tǒng)，具有微型化、智能化、多功能、高集成度和適于大批量生產(chǎn)等基本特點。其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。