技術(shù)編號：11568217
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種微機械壓力傳感器。本發(fā)明尤其涉及由半導體部件構(gòu)成的壓力傳感器的制造。背景技術(shù)壓力傳感器包括布置在共同的殼體中的微機械傳感器元件和分析電路。殼體保護單獨的部件免受環(huán)境影響，例如灰塵、振動和熱，使得壓力傳感器例如可以使用在車輛上。微機械傳感器元件包括膜片，該膜片由于環(huán)境壓力的變形或者說偏移轉(zhuǎn)化為傳感器信號，之后借助于分析電路進一步處理該傳感器信號。為了將傳感器元件和分析電路置于一個殼體中，公知多個技術(shù)。在第一變型方案中，產(chǎn)生以鑄造方法制造的具有凹部的殼體部分，隨后傳感器元件和分析電路被...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。