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力平衡式諧振微機(jī)械陀螺的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12060591

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本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中的微機(jī)械傳感器領(lǐng)域,它作為微慣性器件廣泛應(yīng)用于汽車電子、航空航天、武器裝備等領(lǐng)域。背景技術(shù)基于角動量原理的經(jīng)典的框架式機(jī)械轉(zhuǎn)子陀螺儀,由數(shù)百個(約300多個)零件組裝而成,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,體積大,使用壽命短,不能滿足技術(shù)發(fā)展和許多新應(yīng)用的要求。因而相繼發(fā)展了沒有機(jī)械轉(zhuǎn)子的固態(tài)陀螺,代表性的有激光陀螺、半球諧振陀螺以及光纖陀螺。前兩種陀螺的性能可達(dá)到慣性導(dǎo)航級的漂移精度(0.01°/h);但價格高,體積較大,仍不能適用于正在發(fā)展的微型慣性測量單元和低價格商用市場的需求。...
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