技術(shù)編號：12347434
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及蒸鍍裝置。背景技術(shù)從蒸發(fā)源蒸發(fā)并噴出的成膜材料堆積在基板上而形成薄膜的蒸鍍裝置在有機(jī)EL器件的制造中被廣泛應(yīng)用，并且為了滿足制造上的要求進(jìn)行了各種研究。在專利文獻(xiàn)1中，公開了這樣的技術(shù)：為了限制從蒸發(fā)源釋放出的成膜材料的蒸氣的放射范圍，在收納有蒸發(fā)源的蒸發(fā)源收納部的外側(cè)壁設(shè)置限制板。專利文獻(xiàn)1：日本特開2011-68980號公報(bào)可是，在上述結(jié)構(gòu)的情況下，每當(dāng)進(jìn)行蒸發(fā)源的清掃或收納在蒸發(fā)源內(nèi)的成膜材料的補(bǔ)充或更換等維護(hù)作業(yè)時(shí)，都需要進(jìn)行卸下和固定限制板的作業(yè)，維護(hù)作業(yè)的效率低下。發(fā)明內(nèi)容...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。