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基板的處理裝置和處理方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1367307

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本發(fā)明涉及在利用處理液處理基板的情況下適用的。背景技術(shù) 在使用于液晶顯示裝置中的玻璃制的基板上形成電路圖形。要在基板上形成電路圖形,就采用平版印刷工藝。平版印刷(lithography)工藝如周知的,在上述基板上涂覆抗蝕劑,在該抗蝕劑上通過形成了電路圖形的掩膜而照射光。接著,去掉抗蝕劑的沒照射光的部分或照射了光的部分,蝕刻基板的已去掉了抗蝕劑的部分,蝕刻之后,通過反復(fù)多次進(jìn)行去掉抗蝕劑等的一系列的工序,就在上述基板上形成電路圖形。在這樣的平版印刷工藝中,需...
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