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滾珠絲杠保護(hù)折皺機(jī)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1848468

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本發(fā)明涉及滾珠絲杠保護(hù)折皺機(jī)構(gòu),例如涉及對(duì)用于切削裝置的保持工作臺(tái)的進(jìn)給的滾珠絲杠進(jìn)行保護(hù)的滾珠絲杠保護(hù)折皺機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體器件的制造工序中,在大致圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的表面呈格子狀地形成分割預(yù)定線,并在由分割預(yù)定線劃分出的區(qū)域形成ICantegrated Circuit 集成電 ^ ),LSI (large scale integration 大規(guī)模集成電路)等電路。接著,利用切削裝置沿分割預(yù)定線切削半導(dǎo)體晶片,將半導(dǎo)體晶片分割為一個(gè)一個(gè)的半導(dǎo)體芯...
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