技術編號：1979093
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種石英玻璃元件和投影曝光裝置。更具體地說，本發(fā)明涉及一種在利用(例如ArF準分子激光器等)發(fā)射紫外光的光源的裝置(諸如投影曝光裝置、CVD裝置、激光束機械等)的光學系統(tǒng)中，用作光學透明的光學元件(如透鏡、棱鏡、平板等)的石英玻璃元件，以及使用該石英玻璃元件的投影曝光裝置。本發(fā)明中闡述的石英玻璃元件包含光學系統(tǒng)中所使用的光學元件(成品)，如透鏡、棱鏡、反射鏡、平板等，還包含石英玻璃坯料和由其部分切下的元件〔用于制造光學元件的半成品(材料)〕。背景...
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