技術(shù)編號：2000328
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于石英玻璃領(lǐng)域，具體涉及到一種合成石英玻璃用燃燒器。技術(shù)背景 在CVD合成三類石英玻璃工藝中，燃燒器是工藝流程中一個關(guān)鍵部件，除了完成 氫氧氣的混合和燃燒以提供必要的熱量之外，還利用氫氣或氧氣通過鼓泡瓶將氣態(tài)四氯化 硅引入燃燒器內(nèi)，并通過水解或者氧化反應生成納米級別的二氧化硅顆粒，在火焰氣流的 輔助下沉積到旋轉(zhuǎn)的基體(坨體)上，生成熔融態(tài)的石英玻璃。目前常用燃燒器的結(jié)構(gòu)一 般為單料管(氫氣載料)或者在料管外加一層保護套管(氧氣載料)，氫室外圍沒...
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