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用于定位光纖陣列的梯形槽的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2702119

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本發(fā)明提出一種,包括以下步驟1)在晶圓上進(jìn)行硬掩膜的生長(zhǎng);2)在硬掩膜上涂覆光刻膠;3)利用光刻工藝,將用于定位光纖陣列的梯形槽的圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上;4)利用等離子刻蝕技術(shù),將梯形槽的圖形進(jìn)一步轉(zhuǎn)移到硬掩膜上;5)利用等離子刻蝕技術(shù),在晶圓上刻蝕出梯形槽,該梯形槽的側(cè)壁與晶圓上表面的交界處為光滑的弧形面;6)除去晶圓上殘留的硬掩膜。本發(fā)明可以解決目前制作光纖陣列定位槽通用的濕法腐蝕、機(jī)械加工等方法帶來(lái)的定位精度差、成本高以及成品率低等問(wèn)題,并且可以有效提高...
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