技術(shù)編號：2716267
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種水冷式變形鏡，包括冷卻系統(tǒng)、冷卻腔體、支撐架、驅(qū)動(dòng)器和反射鏡，所述的反射鏡的一面為反射面，另一面為基準(zhǔn)面，所述基準(zhǔn)面的邊緣刻蝕有邊框，邊框內(nèi)部區(qū)域通過加工刻蝕為若干個(gè)圓柱；驅(qū)動(dòng)器的輸出端設(shè)置有若干個(gè)連接點(diǎn)，所述基準(zhǔn)面上的一個(gè)圓柱對應(yīng)驅(qū)動(dòng)器輸出端的一個(gè)連接點(diǎn)；圓柱與驅(qū)動(dòng)器輸出端的連接點(diǎn)之間通過粘結(jié)劑粘結(jié)在一起；本發(fā)明通過對反射鏡的一面通過刻蝕工藝刻蝕出若干個(gè)圓柱能有效的增加反射鏡與冷卻介質(zhì)的接觸面積，同時(shí)通過圓柱連接，可以減小整個(gè)反射鏡與驅(qū)動(dòng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。