技術(shù)編號：2756890
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種制作過濾膜網(wǎng)孔結(jié)構(gòu)的方法和系統(tǒng)，尤其涉及一種基于激光干涉 光刻技術(shù)制作過濾膜網(wǎng)孔結(jié)構(gòu)的方法和系統(tǒng)。背景技術(shù)激光干涉光刻技術(shù)利用光的干涉特性，不同的曝光方法會產(chǎn)生不同孔徑、孔間間 距的圖形。通過特定的光束組合方式，來調(diào)控干涉場內(nèi)的光強度分布，用調(diào)制后重新分布的 激光能量燒蝕被加工材料表面，從而產(chǎn)生光刻圖形。干涉光刻技術(shù)不需要掩模和昂貴的光 刻成像透鏡，從而提供了得到高分辨率、無限焦深、大面積光刻的可能性。特別適合光電探 測器或場發(fā)射器電極陣列中...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。