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高速硅基電光調(diào)制器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2777062

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本發(fā)明涉及一種硅基電光調(diào)制器,具體地說(shuō),涉及基于SOI技術(shù)并且使用硅-絕緣體-硅電容(SISCAP)波導(dǎo)幾何形狀來(lái)提供高效和高速工作的電光調(diào)制器。背景技術(shù) 由于可以通過(guò)使用公知的CMOS技術(shù)把光學(xué)元件和先進(jìn)的電子器件一起集成在硅襯底上的可能性,在用于各種系統(tǒng)例如光纖到戶和局域網(wǎng)(LANs)的工作在1330和1550nm光纖光通信波長(zhǎng)的硅基光子元件是密集研究的對(duì)象。已經(jīng)對(duì)無(wú)源硅結(jié)構(gòu),例如波導(dǎo),耦合器和濾光器作了廣泛的研究。相比而言關(guān)于有源硅器件(即可調(diào)節(jié)器件...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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