技術(shù)編號：2813457
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及。背景技術(shù)專利文獻JP-2010-197413A描述了一種抗蝕劑組合物，所述抗蝕劑組合物包含樹脂和酸生成劑，所述樹脂具有含由式(u-A)和式(u-B)表示的結(jié)構(gòu)單元的聚合物，和含由式(u-B)、式(u-C)和式(u-D)表示的結(jié)構(gòu)單元的聚合物。權(quán)利要求1.一種抗蝕劑組合物，所述抗蝕劑組合物包含 具有由式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元的樹脂， 在堿性水溶液中不可溶或難溶但是通過酸的作用變得可溶于堿性水溶液并且不包含由式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元的樹脂，和具有酸...
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