技術編號：2967337
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。可變孔隙粒子分析儀本實用新型涉及粒子分析儀，尤其涉及一種可變孔隙粒子分析儀。背景技術在半導體芯片生產制造過程中，經常會使用到各種粒子流，比如在離 子注入、離子刻蝕等工藝中，都需要使用特定的高速粒子流對目標硅片進行 轟擊。而在對粒子流進行必要的分析檢測的時候經常會用到一種設備SRA(selectable resolve aperture)，也稱之為壽立子分^H義。粒子分析儀主要由入射粒子源1、偏轉磁場2、孔隙板3組成，其工作 原理是，利用偏轉磁場對帶電粒子流...
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