技術(shù)編號：3363216
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種紅外光學(xué)元件表面成型類金剛石膜工藝。 背景技術(shù)國內(nèi)外開展類金剛石(Diamond-Like Carbon, DLC)薄膜的研究始于20世紀(jì)70年 代，前期主要是制造方法的研究，研究制造裝置以及采用該裝置生產(chǎn)的DLC薄膜結(jié)構(gòu)特征。 近年來研究的主要對象是制造設(shè)備的改型和工藝研究。DLC薄膜目前不能大面積推廣應(yīng)用 的主要問題包括制造設(shè)備技術(shù)研究不夠，難以大面積生長DLC薄膜，薄膜制造技術(shù)研究不 夠，導(dǎo)致薄膜制造重復(fù)性不好，薄膜穩(wěn)定性和殘余應(yīng)力問題...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。