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表面改性的制作方法技術資料下載

技術編號:3667899

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本發(fā)明涉及表面的改性,特別是涉及氟化聚合物表面的改性以使得可以在其上沉積非氟化物質。本發(fā)明尤其可用于薄膜器件例如薄膜晶體管的領域。背景技術晶體管可分為兩種主要類型雙極結晶體管和場效應晶體管。兩種類型均具有包括三個電極的共同結構,其具有在溝道區(qū)域中設置于其間的半導體材料。雙極結晶體管的三個電極稱為發(fā)射極、集電極和基極,而在場效應晶體管中,三個電極稱為源極、漏極和柵極。由于在發(fā)射極和集電極之間的電流通過在基極和發(fā)射極之間流動的電流進行控制,因此雙極結晶體管可描...
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