技術(shù)編號：40524525
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本公開實施例涉及微機電系統(tǒng)傳感器和半導(dǎo)體，且特別是涉及一種電容式壓力傳感器及其制造方法、電子裝置。背景技術(shù)、微機電系統(tǒng)（micro-electro-mechanical?system;?mems）電容式壓力傳感器廣泛應(yīng)用于麥克風（即，傳聲器）、電子煙等電子裝置中，其可將由聲波或吸煙動作等作用于振膜的壓力轉(zhuǎn)變成電信號，從而通過輸出的電信號來感測所述壓力。、一般來說，mems電容式壓力傳感器可采用半導(dǎo)體加工工藝來制造，然而現(xiàn)有工藝復(fù)雜、成本較高、加工周期長，如何優(yōu)化mems電容式壓力傳感器的制造...
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