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一種壓力傳感器加工的多級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40528293

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本發(fā)明涉及封裝結(jié)構(gòu),具體涉及一種壓力傳感器加工的多級(jí)封裝結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、針對(duì)壓力傳感器這類高敏性器件的組裝過程進(jìn)行說明,是以內(nèi)部的高敏性芯片或高敏型器件為主,基于氣壓、液壓、溫度或流量等物理特性,以mems傳感器為例,是以內(nèi)部的mems芯片作為核心,其生產(chǎn)過程中為提高生產(chǎn)效率,當(dāng)前主要采用自動(dòng)化設(shè)備為主,依賴自動(dòng)化設(shè)備上的相關(guān)結(jié)構(gòu)(機(jī)械臂等)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)封裝,可參照公開號(hào)為cna中的相關(guān)內(nèi)容。、壓力傳感器整體結(jié)構(gòu)體積較小,在其封裝過程中需要保證芯片(mems芯片)與器件之間的電...
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