技術(shù)編號(hào)：40564410
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體，具體涉及一種壓電型微機(jī)電器件及其制備方法。背景技術(shù)、壓電mems(micro-e?l?ectro-mechanica?l?system，微電子機(jī)械系統(tǒng))是近年來(lái)快速發(fā)展的一個(gè)領(lǐng)域。壓電薄膜材料具有電信號(hào)與機(jī)械振動(dòng)相互轉(zhuǎn)換的特性,這種特性為mems器件的開發(fā)提供了新的可能性。壓電mems器件具有體積小、重量輕、功耗低、響應(yīng)快等優(yōu)點(diǎn)，并且隨著微加工技術(shù)的不斷進(jìn)步,人們開始將壓電薄膜材料應(yīng)用于mems器件的制造,從而催生了壓電mems技術(shù)的興起，令壓電mems被廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。