技術(shù)編號(hào)：40610571
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于電子核心產(chǎn)業(yè)中敏感元件及傳感器制造領(lǐng)域，具體涉及一種壓電mems聲學(xué)器件及其制造方法。背景技術(shù)、壓電mems聲學(xué)器件是一種將壓電效應(yīng)應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)(mems，micro-electro-mechanical?system)的聲學(xué)傳感器，通過利用壓電薄膜與硅基板形成的復(fù)合結(jié)構(gòu)的彎曲振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)電能與機(jī)械能的轉(zhuǎn)換，并通過與周圍的流體介質(zhì)的機(jī)械能量傳遞，實(shí)現(xiàn)聲波的發(fā)射和接收。目前壓電mems聲學(xué)器件廣泛應(yīng)用于智能設(shè)備、音響設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域。與傳統(tǒng)的聲學(xué)器件相比，壓電mems聲學(xué)器件具有...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。