技術(shù)編號(hào)：40614051
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)涉及納米壓印，尤其涉及一種納米壓印模板膠及其制備方法。背景技術(shù)、納米壓印技術(shù)是一個(gè)將母版上的微結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印至晶圓上面的過程。具體的，是在母版上涂敷模板膠，而后固化成型得到帶有印有母版圖案的軟膜，之后再將軟膜轉(zhuǎn)印至晶圓。在此過程中，軟膜作為帶有壓印特征的載體直接決定著晶圓壓印圖型的質(zhì)量，要實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的壓印復(fù)型，必須要有高質(zhì)量的壓印模板。、現(xiàn)有的納米壓印模板膠在固化成型的過程中會(huì)出現(xiàn)固化不完全的現(xiàn)象，固化后形成的聚合物膜層也存在機(jī)械性能較差、強(qiáng)度較低的現(xiàn)象，因此在制備軟膜的過程中，容易出現(xiàn)軟膜...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。