技術(shù)編號：40615817
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及氮化鎵生產(chǎn)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種氣流控制閥及臥式氮化鎵生產(chǎn)系統(tǒng)。背景技術(shù)、在氮化鎵生產(chǎn)過程中，特別是針對大批量的氮化鎵進行生產(chǎn)時，原料氣的輸送管路體系會非常龐大，氣路的管理工作量就會顯著增高。其中，在不同的生產(chǎn)階段，每種原料氣的供應量是不同的，這就需要利用程控閥對各種原料氣的流量進行調(diào)控和管理。、在氣流控制管理工作中，當需要采用小開度進行供氣時，閥門存在出現(xiàn)氣蝕和振動的風險，但對于不同的閥門，其實際發(fā)生氣蝕和振動的開度臨界值又不同，在氣路眾多的生產(chǎn)系統(tǒng)中，管理難度相當大。、有鑒...
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