技術(shù)編號(hào)：40622244
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)涉及單晶生長(zhǎng)，特別是一種液相法生長(zhǎng)碳化硅的多場(chǎng)耦合網(wǎng)格劃分方法、裝置和產(chǎn)品。背景技術(shù)、液相法也叫做溶液生長(zhǎng)法，可用于制備大尺寸碳化硅晶體等。在液相法中，主要采用電磁感應(yīng)加熱的方式為晶體生長(zhǎng)過程提供熱量，即利用電磁感應(yīng)的方法使被加熱的材料（坩堝、側(cè)部石墨支撐等部件）的內(nèi)部產(chǎn)生電流，依靠這些渦流的能量達(dá)到加熱目的。感應(yīng)加熱作為加熱方法在液相法生長(zhǎng)系統(tǒng)中具有重要意義，液相法生長(zhǎng)系統(tǒng)的溫度場(chǎng)與熱場(chǎng)決定晶體質(zhì)量。、在液相法生長(zhǎng)碳化硅的數(shù)值計(jì)算過程中，會(huì)涉及到磁場(chǎng)、溫度場(chǎng)、速度場(chǎng)、濃度場(chǎng)的多個(gè)物理...
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