技術(shù)編號：4233681
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及濺射靶材的保存方法，特別涉及一種。 背景技術(shù)半導體工藝所用靶材的純度要求很高，除了生產(chǎn)過程中生產(chǎn)技術(shù)的不斷提高以符合生產(chǎn)要求，在包裝、運輸、保存等過程中，也要盡量排除掉對靶材品質(zhì)的影響因素。當前，大多數(shù)靶材的包裝都是真空包裝。真空包裝相對于普通包裝方法來說，有著防潮防氧化等優(yōu)點。但是現(xiàn)有的真空包裝方式一般都是采取將包裝袋內(nèi)空氣排出即進行塑封的方式。這樣不能確?？諝獗慌诺暮芨蓛?，如果有空氣殘留，容易造成靶材在包裝后仍生銹的現(xiàn)象。生銹的靶材不僅外觀不...
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