技術(shù)編號(hào)：5264823
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于MEMS傳感器的彈性梁，以及設(shè)有這種彈性梁的MEMS傳感器。背景技術(shù)目前,業(yè)界在MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)器件中使用的機(jī)械彈性梁包括很多類型，其通常是由一系列的梁彎曲部分(beam flexures)構(gòu)成，具體形狀包括簡(jiǎn)單的懸臂式、折疊式、蛇狀，以及U形彎曲部分等。具體的彈性梁的選擇，一般取決于用戶對(duì)于坐標(biāo)系中一個(gè)或多個(gè)方向上的剛性要求和其它方向上的柔性要求，以及與制造過程中的幾何約束的配...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。