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感測(cè)元件結(jié)構(gòu)與制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5267129

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本揭露上關(guān)于一種。 背景技術(shù)經(jīng)由微制造(microfabrication)技術(shù),微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)將機(jī)械元件、感測(cè)元件、動(dòng)作器(actuator)、以及電子零件(electronics) 等整合在一共享硅基板(common silicon substrate)上。近年來(lái),MEMS加速度計(jì) (accelerometer)在通訊市場(chǎng),例如手機(jī)市場(chǎng)的成長(zhǎng)率預(yù)計(jì)可達(dá)近百倍之多。MEMS加速度 ...
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