技術(shù)編號：5268994
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于微機電系統(tǒng)器件的有源側(cè)向力粘滯自恢復(fù)。提供了通過施加正交于粘滯力的力從MEMS器件中的與粘滯相關(guān)的事件恢復(fù)的機制。施加正交于粘滯力的矢量的弱力可以比施加平行于粘滯力的矢量的力更容易釋放被阻塞的檢測質(zhì)量塊。示例實施例提供了垂直的平行板(510,520)或梳指狀側(cè)向致動器(610,620)以施加正交力。另選實施例提供了第二換能器(710)的檢測質(zhì)量塊(720)來碰撞被阻塞的MEMS致動器以釋放粘滯。專利說明用于微機電系統(tǒng)器件的有源側(cè)向力粘滯自恢復(fù)...
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