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一種基于附壁效應(yīng)的無閥壓電泵的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5438389

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本發(fā)明涉及微流體傳輸與控制以及微機(jī)械,特指一種基于附壁效應(yīng)的無閥壓電泵。背景技術(shù)壓電泵是機(jī)械式微泵的一種,屬于容積泵,廣泛應(yīng)用在藥物微量輸運(yùn)、細(xì)胞分離、電子產(chǎn)品(如CPU)降溫、燃料微量噴射、化學(xué)微分析、管道流動(dòng)中轉(zhuǎn)捩控制等領(lǐng)域;依據(jù)有無閥片結(jié)構(gòu),可將壓電泵分為有閥壓電泵和無閥壓電泵兩類,有閥壓電泵具有閥片結(jié)構(gòu),不易加工,限制泵體微型化,且工作頻率一般較低;無閥壓電泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,更適合于微型化,可以滿足在高頻頻率下的工作要求,且流體介質(zhì)不會(huì)因?yàn)殚y片結(jié)構(gòu)而被隔...
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