技術編號：5625401
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及工程元件中的軸承，尤其涉及由氣流形成流體墊所支撐的空氣軸承。背景技術在很多精密運動系統(tǒng)中可能會用到空氣軸承，如在液晶顯示器件面板生產(chǎn)過程中，空氣軸承被廣泛應用在具有精密氣浮運動系統(tǒng)的設備中?？諝廨S承的工作原理如圖1所示，在運動軸與載臺之間安裝有空氣軸承，將壓縮空氣通過空氣軸承1的進氣孔2注入到空氣軸承內(nèi)部的氣腔內(nèi)，氣腔內(nèi)的空氣從底部的排氣孔排出來，從而保證空氣軸承懸浮在載臺3的表面，并通過運動系統(tǒng)的控制來實現(xiàn)運動軸的精密運動。 傳統(tǒng)空氣軸承的...
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