技術(shù)編號：5958627
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種光學(xué)探測器(probe )。背景技術(shù)傳統(tǒng)上已知非接觸式光學(xué)探測器(例如見于PCT國際申請No. 2009-534969的日本譯文公布)。這種非接觸式光學(xué)探測器使用激光照射待測量的物體(以下稱為工件)，檢測由工件的表面反射的光，以及獲得工件的各個點的位置坐標。已知如圖10中示出的線光學(xué)探測器100，作為非接觸式光學(xué)探測器的示例。線光學(xué)探測器100使用擴束器103，該擴束器103允許激光變化形狀為光LI，光LI在形狀上為線的(以下稱為線激光)。在...
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