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源柵漏共控單摻雜型隧穿晶體管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7009297

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本發(fā)明公開了一種源柵漏共控單摻雜型隧穿晶體管,源電極和漏電極除與半導(dǎo)體薄膜接觸之外,還分別附著于臨近源電極和漏電極兩側(cè)的絕緣介質(zhì)層的上方,使其分別對半導(dǎo)體薄膜的源極和漏極部分的電場和載流子分布具有一定控制作用。當(dāng)器件工作時,對源電極施加反向電壓;對漏電極施加正向電壓;并通過調(diào)節(jié)柵電極的電壓,使位于柵電極下方的具有較窄禁帶寬度的半導(dǎo)體薄膜區(qū)實現(xiàn)載流子的耗盡,以此實現(xiàn)虛擬的PIN結(jié),避免了普通隧穿晶體管對于深納米尺度下的重摻雜PIN結(jié)在熱處理工藝過程當(dāng)中會發(fā)生...
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