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一種溝槽優(yōu)先銅互連制作方法技術(shù)資料下載

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,包括提供硅基襯底,并依次沉積低k值介質(zhì)層、硬掩模薄膜,且在硬掩模薄膜上依次涂布第一旋涂碳薄膜和第一光刻膠;曝光和顯影在第一光刻膠中,并形成第一金屬槽;在硬掩模薄膜中形成第二金屬槽;在硬掩模薄膜上依次涂布第二旋涂碳薄膜和第二光刻膠;曝光和顯影在第二光刻膠中,并形成第一通孔;在低k值介質(zhì)層中形成通孔和金屬槽;實(shí)現(xiàn)導(dǎo)線金屬和通孔金屬填充。本發(fā)明通過(guò)使用第一旋涂碳薄膜和第二旋涂碳薄膜,并結(jié)合可形成硬膜之第一光刻膠和第二光刻膠,不僅減少了工藝材料和工藝步驟,提高了...
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