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新型薄片鍵合方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7039572

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體集成電路制造工藝,尤其涉及一種,步驟一,首先準(zhǔn)備形狀與硅片相同的母片,采用未經(jīng)減薄的硅片作為母片或使用材料加工該形狀的母片;步驟二,在靠近母片邊緣的局部貼上耐高溫真空用雙面膠;步驟三,在母片上貼上硅片,所述硅片包括多個(gè)半導(dǎo)體器件;步驟四,上述工序結(jié)束后,將耐高溫真空用雙面膠沿直線切割,切邊與雙面膠內(nèi)側(cè)邊的距離小于1cm,以保證完全切除雙面膠,硅片最終形成。本發(fā)明可用于300℃以下的工藝過(guò)程,這是由于半導(dǎo)體器件加工過(guò)程中通常會(huì)遇到一些熱過(guò)程,...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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