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超級結(jié)器件及制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7158878

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本發(fā)明涉及半導體集成電路制造領(lǐng)域,特別是涉及一種超級結(jié)器件;本發(fā)明還涉及一種超級結(jié)器件的制造方法。背景技術(shù)超級結(jié)MOSFET采用新的耐壓層結(jié)構(gòu),利用一系列的交替排列的P型半導體薄層和 N型半導體薄層來在截止狀態(tài)下在較低電壓下就將所述P型半導體薄層和N型半導體薄層耗盡,實現(xiàn)電荷相互補償,從而使P型半導體薄層和N型半導體薄層在高摻雜濃度下能實現(xiàn)高的擊穿電壓,從而同時獲得低導通電阻和高擊穿電壓,打破傳統(tǒng)功率MOSFET理論極限。 在美國專利US5216275中,...
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