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Esd保護器件及其制造方法技術資料下載

技術編號:7161605

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本發(fā)明涉及一種保護半導體裝置等不受靜電破壞的ESD保護器件及其制造方法。 背景技術近年來,在使用民用設備時,作為輸入輸出接口的線纜的插拔次數(shù)趨于增加,存在易對輸入輸出連接器部施加靜電的狀況。另外,隨著信號頻率的高頻化,因設計規(guī)則的細分化而導致難以完善路徑,LSI自身對于靜電變得脆弱。因此,保護LSI等半導體裝置不受靜電放電(ESD) (Electron-Statics Discharge)影響的ESD保護器件已被廣泛使用。作為這種ESD保護器件,提出了如下...
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