技術(shù)編號：7206005
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及供給有機金屬化合物的裝置。具體地說，涉及向含有常溫下、優(yōu)選常 溫·常壓下為固體的有機金屬化合物的裝置中供給載氣，制備以更穩(wěn)定的濃度含有有機金 屬化合物的載氣，向使用有機金屬化合物的裝置中供給制備的載氣，此外，以更高的比率使 用裝置中含有的有機金屬化合物來制備載氣，即以更高的使用率制備載氣的有機金屬化合 物供給裝置。背景技術(shù)有機金屬化合物在化合物半導(dǎo)體的外延生長中用作原料。特別是在量產(chǎn)性、控制 性優(yōu)異的有機金屬氣相生長法(M0CVD法)中經(jīng)常使用。...
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