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局部化soi上方的無電容器dram的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7222306

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本發(fā)明大體上涉及一種局部化絕緣體上硅("sor)半導(dǎo)體設(shè)計(jì),且更具體地說,涉及在動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器("DRAM")陣列中形成局部氧化物。技術(shù)背景使用絕緣體上硅或SOI襯底通常能夠在絕緣體(例如氧化物)上方制造典型的電路 元件。在一種應(yīng)用中,可在SOI上形成無電容器DRAM。使用SOI設(shè)計(jì)與傳統(tǒng)硅襯底相 比增加了針對(duì)這些無電容器DRAM的存取晶體管的浮體效應(yīng),從而產(chǎn)生遠(yuǎn)為更有效的存 儲(chǔ)。在此類DRAM中編程浮體可通過碰撞電離("II")或通過柵極引發(fā)漏極泄漏...
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