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靜電放電保護(hù)裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7338052

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本發(fā)明涉及一種靜電放電保護(hù)裝置,特別是涉及一種柵極耦合靜電放電保護(hù)裝置。背景技術(shù)隨著CMOS半導(dǎo)體工藝進(jìn)入深次微米(deep sub-micron)的尺寸,許多先進(jìn)的工藝 技術(shù)被使用,以縮減元件的尺寸并保有元件的特性,例如較薄的柵極氧化層、較短的通道 長度、較淺的接面深度(junction depth)、淡摻雜漏極(Lightly-Doped Drain,簡稱LDD) 結(jié)構(gòu)、以及自動(dòng)對準(zhǔn)金屬娃化物(Self-aligned Silicide,簡稱Salic...
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