技術(shù)編號(hào)：7432798
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及雙極脈沖電源以及將多臺(tái)該雙極脈沖電源并聯(lián)連接的電源裝置，所述 雙極脈沖電源可對(duì)等離子體以及表面處理裝置進(jìn)行雙極脈沖電力供應(yīng)。背景技術(shù)對(duì)于這種雙極脈沖電源，例如已知有在處理基板表面形成規(guī)定的薄膜的濺射裝 置中使用的，具有供應(yīng)直流電力的整流電路、連接于該整流電路的正和負(fù)輸出端并包含4 個(gè)開關(guān)元件的MOSFET電橋電路的雙極脈沖電源。而且，通過使各開關(guān)元件適當(dāng)動(dòng)作，并按 照規(guī)定的頻率交替切換極性對(duì)作為輸出端(電極)的一對(duì)靶施加任意的脈沖電壓，將各靶 交...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。